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前端預(yù)熱滑軌PECVD
該PECVD(等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng))系統(tǒng),有多路質(zhì)量流量計系統(tǒng)(進(jìn)口流量計),真空機組(進(jìn)口真空泵),PE射頻電源(進(jìn)口射頻源),溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成
產(chǎn)品簡介:本設(shè)備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用,同時該設(shè)備可以用于碳納米管的生長
特點及用途:PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,...
產(chǎn)品簡介:本設(shè)備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用,同時該設(shè)備可以用于碳納米管的生長
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